| 用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统 |
| CN202120513850.7 2021-3-10 实用新型 |
| 2021-9-14 |
| 本实用新型公开了一种用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，包括与过渡腔室依次连通的第一控制阀和缓冲腔室，和与质谱仪的真空腔室连通的第二控制阀，所述缓冲腔室的一接口通过第一连接气路与所述第二控制阀的另一接口连通；所述真空预抽系统还包括与过渡腔室连通的进气阀。本实用新型的过渡腔室和真空腔室之间连通设置有第一控制阀、缓冲腔室和第二控制阀，在质谱仪开启时可利用真空腔室对缓冲腔室抽取真空，使得缓冲腔室的真空度接近真空腔室并保持恒定，利用缓冲腔室缓存的高真空度负压来实现过渡腔室的快速预抽，缩短了样品的等待进样时间，提高了检测效率。 |
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