| 一种氦质谱检漏仪的新型质谱室结构 |
| CN202023069010.0 2020-12-18 实用新型 |
| 2021-9-3 |
| 本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪的新型质谱室结构，包括腔体、隔板、连接管，所述隔板设置在所述腔体内部，将所述腔体分割为电离腔和质谱腔，所述连接管设置在所述腔体外部，其轴向线与所述腔体长度方向具有一定夹角，所述连接管的一端与所述电离腔连通，另一端与分子泵连通。本实用新型采用全新的组装结构，将质谱室与分子泵的对接接口做一定角度的偏转；减短了质谱室与连接管的总体长度尺寸，即减短了质谱室的机械力臂，同时不对质谱工艺产生负面影响；通过减短机械力臂的原理有效减少了分子泵带来的震动，有效保护了分子泵，延长了分子泵的使用寿命；并且由于震动的减小，同时提高了检测数据的精确性。 |
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