| 扫描电镜与光谱设备联用装置 |
| CN201921106376.5 2019-7-15 实用新型 |
| 2020-4-24 |
| 本实用新型提供了一种扫描电镜与光谱设备联用装置，涉及光学检测仪器技术领域，该扫描电镜与光谱设备联用装置，包括：光谱检测装置、扫描电镜接收装置和电子枪；所述光谱检测装置能够沿第一方向向样品发射激光，所述电子枪能够沿第二方向向所述样品发射电子束，所述扫描电镜接收装置的探头朝向第三方向，用于接收所述样品的表面发出的电子信号。光谱检测装置发射激光的方向分别与电镜装置接收信号方向和电子枪发射方向均不相同，并且均朝向样品，从而能够实现光谱检测装置、扫描电镜接收装置和电子枪从不同的朝向且在同一时间对样品的同一位置进行光谱检测和扫描电镜功能检测。 |
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