| 用于确定覆盖玻璃的倾斜的方法和显微镜 |
| DE102018125995 2018-10-19 发明申请 |
| 2020-4-23 |
| 一种用于确定显微镜(10，78)中的覆盖玻璃(24)的倾斜的方法，该显微镜具有面向覆盖玻璃(12)的物镜(24)。 在表面(64)上， 所述盖玻璃(24)的至少三个测量点被限定为跨越一个平面，并且对于所述三个测量点中的每一个，执行以下步骤 : 引导测量光束(34)通过所述透镜(12)到达所述测量点。 通过至少部分地在相应的测量点处反射测量光束(54)来产生反射光束(54)； 检测反射光束(54)在位置敏感传感器(12)上的入射； 以及基于(O3)检测到的入射确定(60)各个测量点沿着透镜(60)的光轴(12)到透镜(60)的距离。 基于所确定的距离，由三个测量点跨越的平面相对于透镜(12)的光轴(O3)的倾斜被确定为盖玻璃(24)的倾斜。 |
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