| 一种适用于扫描隧道显微镜系统的新型快速进样腔 |
| CN201821800579.X 2018-11-2 实用新型 |
| 2019-10-8 |
| 本实用新型公开了一种适用于扫描隧道显微镜系统的新型快速进样腔。其包括呈竖直设置的主腔体，主腔体的两端分别设有主法兰和副法兰，主腔体的侧面至少设有m个轴线呈水平设置的水平副腔体，水平副腔体的端部均设置有副法兰，主腔体的侧面还设有至少n个轴线呈倾斜设置的斜副腔体，m+n>6，且m、n均为自然数，斜副腔体的端部均设置有副法兰。所有水平副腔体的中心线和斜副腔体的中心线相交于主腔体内部的一点。本实用新型的优点在于，多个法兰的设计思路，允许在快速进样腔上加装各种真空设备，增强了快速进样腔的实用性。腔体具体尺寸根据需求灵活调整，可在多种型号的分子束外延?扫描隧道显微镜系统上安装。 |
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