| 质谱仪气压调节系统及方法 |
| CN201911135086.8 2019-11-19 发明申请 |
| 2020-5-8 |
| 本发明公开了一种质谱仪气压调节系统及方法，该系统包括：真空腔、进样系统、真空抽气系统和气压调节系统。其中，真空腔与进样系统、真空抽气系统和气压调节系统连接，用于提供真空环境；进样系统，用于实现质谱仪的离子进样；真空抽气系统通常包括两级抽气泵，用于使真空腔内部维持真空状态，前级将大气压降到后级的工作气压；气压调节系统包括两种气压调节方式，一种从两级抽气泵中间气压管对真空腔进行气压调节，另一种直接从外界环境对真空腔进行气压调节。该系统通过两种方式的独立或组合工作调控气压，实现两种适用于不同场合的灵活、稳定的气压调节方式。在质谱仪进行物质检测时，该系统为质谱仪进行物质分析的每个阶段提供最佳气压条件。 |
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