| 离子源清洁装置 |
| CN202022700700.5 2020-11-20 实用新型 |
| 2021-7-27 |
| 本实用新型公开了一种离子源清洁装置，包括安装单元，具有一上安装面和一下安装面；弹性清洁单元，设置在安装单元的上安装面上；以及连接单元，使下安装面紧贴在质谱仪的靶板安装槽内；其中，当离子源清洁装置移动至质谱仪的离子源下方时，弹性清洁单元的上表面抵在离子源的下表面并擦拭堆积在离子源上的残留离子。本实用新型的离子源清洁装置可卡装在靶板安装结构的靶板安装槽内，利用质谱仪的真空腔室内的既有结构(即XY移动平台)实现离子源清洁装置的水平往返移动，在水平往返移动时弹性清洁单元可反复擦拭离子源下部的电极，实现电极的清洁，整个清洁过程在可在真空腔室的原有的负压环境中进行，无需将真空腔室恢复至常压，缩短了清洁时间。 |
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