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用于电子显微镜的可拆卸样品室和包括该样品室的电子显微镜

KR1020180070086 2018-6-19 发明授权

2019-10-8

本发明可附接到样品室和可从样品室拆卸。本发明提供了一种用于电子显微镜的样品室装置和具有该装置的电子显微镜，通过使用具有能够透射电子束的底表面的样品保持器，使得样品保持器能够容易地更换样品保持器而不需要真空排气时间。