用于质谱分析应用的多层绝缘
 
US16587585  2019-9-30  发明申请

2021-4-1
 
  一种质谱仪,包括:真空歧管,具有内部空间;真空泵,被配置为将所述内部空间保持在低于5×10-5托的压力;加热部件,例如离子源,位于所述内部空间内;以及多层绝缘体,位于所述内部空间内。 该多层绝缘体包括内层,该内层具有朝向被加热部件的第一表面和远离被加热部件的第二表面; 以及外层,其具有朝向远离被加热部件的第三表面和朝向被加热部件的第四表面。
 
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