| 使用可移动质量分辨装置的离子束质量控制 |
| US15850184 2017-12-21 发明申请 |
| 2019-6-27 |
| 本发明公开了一种用于优化束线注入系统中的带状离子束的系统和方法。 所述系统包括具有解析孔径的质量解析设备，其中所述解析孔径可以在X和Z方向上移动。 另外，控制器能够操纵质量分析器和四极透镜，使得所需离子的交叉点也能够在X和Z方向上移动。 通过操作交叉点和分辨孔径，可以操作带状离子束的参数以获得期望的结果。 交叉点在X方向上的移动可以影响小光束的平均水平角，而交叉点在Z方向上的移动可以影响水平角扩展和光束电流。 |
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