| 在线检测半导体级化学品中有机分子杂质的自动化系统 |
| US17125222 2020-12-17 发明申请 |
| 2021-6-17 |
| 分析系统的实施例可以包括初始多端口阀，至少一个中间多端口阀，另外的多端口阀和飞行时间质谱仪(TOF-MS)。 初始多端口阀可以被配置为接收样品。 所述至少一个中间多端口阀可以流体地连接到所述初始多端口阀并且被配置为从所述初始多端口阀接收所述样品。 给定的中间多端口阀可以具有与其相关联的离子交换柱。 给定的中间多端口阀可选择地构造成引导样品通过与其相关联的离子交换柱(在形态模式中)或绕过离子交换柱(在输注模式中)中的一个。 所述另一个多端口阀可以与所述至少一个中间多端口阀流体连接，并且被配置为从那里接收样品。 飞行时间质谱仪(TOF-MS)可以流体地连接到另一个多端口阀。 |
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