| 测量方法和电子显微镜 |
| EP18194356 2018-9-13 发明申请 |
| 2019-3-20 |
| 提供了一种用于测量的测量方法， 在一种电子显微镜中，该电子显微镜包括具有分割成多个检测区域的检测平面的分割检测器， 扫描透射电子显微镜(STEM)图像中的多个检测区域中的每一个的方向， 所述测量方法包括 : 在检测平面与从衍射平面偏移的平面共轭的状态下，使入射到样品S上的电子束EB偏移，从而使电子束EB在检测平面上偏移， 以及用分段检测器测量电子束EB在检测平面上的移动方向； 以及从移位方向获得杆图像中的多个检测区域中的每一个的方向。 |
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