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用于质谱仪的涡轮分子泵

US16525165 2019-7-29 发明申请

2020-2-20

本发明涉及能够实现高泵送速度的涡轮分子泵。本公开建议使用一个或多个笼形转子级来优化具有低气体流量和低极限压力的真空系统上的泵送速度。这允许较小的电机以及较小的总体形状因数，并且使其特别适合于紧凑的质谱仪和台式质谱仪。