| 一种离子阱质量分析器及其制作方法 |
| CN202110233129.7 2021-3-3 发明申请 |
| 2021-6-11 |
| 本发明公开了一种离子阱质量分析器及其制作方法,特点是:在一张多层印制电路板上制作的具有中心对称轴的三维结构,多层印制电路板的各层垂直于中心对称轴,多层印制电路板包含多个导电层,各个导电层作为电极,其中最外侧的导电层作为屏蔽电极,用于屏蔽外部电场,次外侧的导电层作为端盖电极,中间的导电层通过平行于中心对称轴的金属镀层相连作为环电极,沿中心对称轴从上到下依次为屏蔽电极、端盖电极、环电极、端盖电极、屏蔽电极,屏蔽电极和端盖电极均沿中心对称轴设有中心圆孔,各个电极之间绝缘,优点是:用多层印制电路板制得的质量分析器结构简单,降低加工难度,质量分辨率高,提高了质谱仪系统的性价比。 |