| 用于质谱仪的进气系统 |
| DE102019215319 2019-10-7 发明申请 |
| 2021-4-8 |
| 本发明的一个方面涉及一种用于质谱仪(5)的入口系统(1)。 包括： 第一阀(6a)，用于将待分析气体(2)从处理室(3)输入到入口系统(1)的排放管线(7)中； 第二阀(6b)，用于将待分析气体(2)从采样管线(7)输出到用于使待分析气体(2)电离的电离装置(4)。 质量流量调节器(8)，用于将从处理室(3)进入排放管线(2)(7)的待分析气体的质量流量(Qs)调节到预定的质量流量指令值(Qs)； s)压力计(9)，用于测量质量流量调节器(8)上游的出液管线(7)中的压力(p1)， 另一个压力计(10)，用于测量质量流量控制器(8)下游的出液管道(7)中的压力(P2)， 以及压力控制装置(13)，用于将质量流量调节器(8)下游的出液管线(7)中的压力(P2)调节到预定压力值(P2，P)。 本发明的另一方面涉及一种用于质谱仪(5)的另外的入口系统。 |
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