| 具有粒子消除功能的ICP-MS |
| CN202011614128.9 2020-12-31 发明申请 |
| 2021-5-28 |
| 本发明提供了具有粒子消除功能的ICP?MS，包括炬管、采样锥和真空腔；离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过所述第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔；泵连通所述第一室的气体出口，所述气体出口偏离所述采样锥的中心轴线。本发明具有工作性能好等优点。 |
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