小型质谱仪
 
US14892344  2014-5-29  发明申请

2016-4-28
 
  公开了一种小型质谱仪,包括大气压电离源、具有大气压取样孔或毛细管的第一真空室、位于第一真空室下游的第二真空室和位于第二真空室下游的第三真空室。 第一真空泵被布置成适于泵送第一真空室,其中第一真空泵被布置成适于将第一真空室保持在压力<10mbar。 第一RF离子引导件位于第一真空室内,离子检测器位于第三真空室内。 从大气压取样孔或毛细管到离子检测器的离子检测表面的离子路径长度≤400mm。 所述质谱仪还包括串联四极质量分析器、3D离子阱质量分析器、2D或线性离子阱质量分析器、飞行时间质量分析器、四极飞行时间质量分析器或静电质量分析器,所述串联四极质量分析器、3D离子阱质量分析器、2D或线性离子阱质量分析器、飞行时间质量分析器、四极飞行时间质量分析器或静电质量分析器设置在所述第三真空室内。 包括中间或级间端口的分流涡轮分子真空泵连接到第二真空室,高真空(“HV”)端口连接到第三真空室。 第一真空泵还被布置成适于充当分流涡轮分子真空泵的支撑真空泵,并且第一真空泵具有最大泵送速度≤10m3/hr(2.78L/s)。
 
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