| 方法和设备用于操作质谱仪的真空接口 |
| GB1806080 2018-4-13 发明申请 |
| 2018-5-30 |
| 一种质谱仪真空接口，包括在大气压或相对高压下位于等离子体离子源6下游的真空膨胀室3，该膨胀室具有 : 与等离子体离子源接口以形成膨胀等离子体的第一孔2； 以及位于第一孔下游的第二孔12，用于撇除膨胀等离子体，其中膨胀室被泵送以在室中提供界面压力。 该方法包括使用控制器50自动地， 或者根据用户输入，根据光谱仪的一个或多个操作模式，例如是使用热等离子体还是冷等离子体，来控制界面真空泵40的通过量，或者优化特定元件的检测灵敏度。 压力计60可以位于膨胀室中，并且反馈回路设置在压力计和控制器之间。 |
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