| 适于质谱仪的抽真空系统 |
| CN202110264131.0 2021-3-10 发明申请 |
| 2021-5-14 |
| 本发明公开了一种适于质谱仪的抽真空系统，包括第一抽气单元和第二抽气单元，第一抽气单元包括连通设置的分子泵和机械泵，且分子泵的抽气口与质谱仪的真空腔室相连通；第二抽气单元包括真空气路、进气阀和预抽阀，真空气路的一端与质谱仪的过渡腔室连通，真空气路的另一端分为两路，第一路通过进气阀与外界大气连通而其第二路通过预抽阀与真空腔室连通。本发明利用预抽阀实现了真空腔室和过渡腔室的连通，在抽真空时分子泵可通过真空腔室对过渡腔室间接抽取真空，实现了过渡腔室的快速预抽，大大缩短了样品了进样等待时间，提高了检测效率。 |
微信公众号