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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

所述微工程的分流圆锥用于小型质谱仪

WOEP16066689 2016-7-13 发明申请

2017-3-2

一种微型分离器锥体的形成方法用于一种自由喷射膨胀本发明公开了一种真空接口。该分离器锥体是由电镀的金属沉积在硅衬底上形成盲孔。所述衬底的一部分被去除以露出该分离器锥体，与其它刻蚀技术形成，并形成出口孔。形成一个完整的微型真空接口从进料口的部分的堆叠组件，隔垫物，和含有上述的分流圆锥部，安装在中间压力室的进口至质谱仪。