| 一种操控简便具有多向转向功能的扫描电镜样品台 |
| CN201810954845.2 2018-8-21 发明申请 |
| 2018-12-28 |
| 本发明公开了一种操控简便具有多向转向功能的扫描电镜样品台,包括底座、样品台和多节转向机械臂;所述多节转向机械臂包括第一轴、第二轴和第三轴,所述第一轴竖直设置且底部转动连接在底座上,所述第二轴横向设置且一端与第一轴上端转动连接,所述第三轴竖直设置且下端与第二轴远离第一轴的一端转动连接,所述第三轴顶端与样品台固定连接。本发明通过无线遥控器控制机械臂的动作,可方便的对样品台进行全方位、多角度调节,从而达到全方位观察样品台上样本之目的,具有操作简便、省时省力、可精确调控的优点。 |