| 具有粒子消除功能的电感耦合等离子体质谱仪 |
| CN202011614130.6 2020-12-31 发明申请 |
| 2021-5-4 |
| 本发明提供了具有粒子消除功能的电感耦合等离子体质谱仪，包括炬管、采样锥和真空腔；离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；壳体具有第一通孔和第二通孔；所述壳体设置在所述第二室内，所述离子传输透镜和质量分析器设置在所述壳体内；腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过所述第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔。本发明具有工作性能好等优点。 |
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