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离子检测器和离子发生系统
JP2019192808 2019-10-23 发明申请
2021-4-30
“问题”提高非接触式离子检测器的检测精度。 “解决方法”离子检测器(1)提供转换电路(12),该转换电路(12)获取对应于由离子发生装置(80)的放电产生的电场(E0)的变化的检测信号(V0),以及通过对检测信号(V0)施加频率滤波来产生滤波后检测信号(V1)的LPF电路(13)和ESD电路(V1)。 图1是选择图。
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