| 质量光谱仪真空接口方法和装置 |
| GB1121290 2011-12-12 发明申请 |
| 2012-1-25 |
| 一种方法的操作的质量光谱仪真空接口包括一个撇油器装置，这种作为一种撇油器锥131，具有一撇渣孔134和下游离子提取光学器件150。一种膨胀等离子体通过所述撇油器是脱脂孔，在所述撇油器装置，一部分142所述脱脂等离子体相邻的所述撇油器装置，是从所述的其余部分分离所述脱脂等离子体126通过提供装置来防止，抑制或阻止，所述分离部分从到达所述提取的光学器件。这允许所述其余部分以扩大向该提取的光学器件，其允许除去析出的离子从沉积的物质在所述撇油器装置表面135。所述所述等离子体的其余部分可膨胀向该提取的光学器件，交互和混合该边界之间的层和所述所述等离子体的其余部分可被减小或最小化，这减少了所述的数量先前沉积的离子，其将通过所述撇油器装置的下游和成所述提取的光学器件。 |
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