| 一种质谱分析装置及其方法 |
| CN202011379430.0 2020-11-30 发明申请 |
| 2021-4-20 |
| 本发明公开了一种质谱分析装置及其方法，该质谱分析装置由电离区、离子传输区和质量分析器三个区域组成，质谱分析装置将电离区、离子传输区和质量分析器三个区域由上到下密封在一个箱体中；所述电离区与离子传输区通过电离区的电子发射电极的中心孔连接，离子传输区与质量分析器通过质量分析器的狭缝连接。本发明实施例通过控制电离区的压力和电子的能量，使分解产物主要形成分子离子，并有效抑制六氟化硫基质的干扰，实现六氟化硫气体中微量分解产物的直接质谱分析。 |
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