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电子束照射装置,分析系统
JP2017238708 2017-12-13 发明申请
2021-4-8
[A]样品由样品解吸出的组分有效地从电子束辐照中回收,其组分可用于质谱分析,电子束辐照装置。 [解决方案]根据本发明的电子束照射装置,通过使气体流出腔室,从样品组分中解吸的样品被回收。 图4[附图]
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