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多束二次离子质谱仪

LU100773 2018-4-24 发明授权

2019-10-24

本发明提供了一种二次离子质谱仪，其包括一次离子束装置，以及用于收集，质量过滤和随后检测由于样品已经被多个一次离子束撞击而从样品释放的二次离子的装置。该光谱仪的显著之处在于它使用多个平行的主离子束来扫描样品的表面。