| 样本成像系统和方法 |
| WOUS20054043 2020-10-2 发明申请 |
| 2021-4-8 |
| 本发明公开了一种样品成像系统，包括：真空环境中的样品台，所述样品台被配置为支撑样品； 电子束发生器，被配置为将电子束聚焦在样品上的第一预定位置上； 配置成将纳米喷雾分配到样品上的第二预定位置上的纳米喷雾分配器； 质谱仪； 以及提取导管，其被配置为提取由于纳米喷雾与样品之间的接触而产生的带电粒子羽流，并将带电粒子输送到质谱仪。 该系统可以通过用质谱仪分析样品的至少一部分以确定样品在第二预定位置处的化学组成并用电子分析样品的至少一部分来创建样品的拓扑图和化学图。 射束确定表面拓扑结构。 |
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