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真空系统及其制造方法

EP19158341 2019-2-20 发明申请

2019-11-6

本发明涉及一种真空系统，特别是质谱分析系统，包括真空泵，特别是涡轮分子真空泵和/或碎裂流真空泵，具有设置在转子壳体中的泵转子和由腔室壳体包围的真空腔室，其中转子壳体和腔室壳体由壳体主体一体地形成，并且其中壳体主体是挤压部分。