| 芯片载体交换装置及具有该芯片载体交换装置的原子力显微镜设备 |
| US16897091 2020-6-9 发明申请 |
| 2020-12-10 |
| 芯片载体更换装置从扫描探针显微镜的头部接收用过的芯片载体，扫描探针显微镜通过使用芯片载体执行测量，该芯片载体被配置为使得测量装置附接到由磁性材料制成的载体上， 芯片载体交换装置向磁头提供一个新的芯片载体。 一种芯片载体交换装置，包括：永磁体； 由磁性材料制成的磁通连接单元，该磁性材料允许磁通过该磁通连接单元，该磁通连接单元被配置为通过在芯片载体上施加磁效应来固定芯片载体； 以及驱动单元，其被配置为操作所述永磁体以改变所述载体和所述磁流连接单元之间的磁力。 |
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