| 质谱分析装置和样品表面的三维成像 |
| EP16192722 2016-10-7 发明申请 |
| 2018-4-11 |
| 本发明涉及三维成像装置包括和质谱分析样品表面，和/或至少一个能量源(20)解吸离子化的样品表面原子，位移台1，一种光源(8)，它还包括控制单元(30)控制位移台第十 : 1，使试样表面照射以逐步或连续运动，从电源点20.10所述光源(8，10)。(50)还包括与质谱仪接口进行数据交换，一种质谱仪测量数据，使得数据可以从50经由接口传输到评估单元，从而可以确定测量点的化学成分值由评价单元(40)60。此外，它还包括一光学系统(3)，光检测器(40)和评估单元(4)。这里所述光源(8)，10，所述光学系统和光检测器(3)协作，使得4，一个光学系统从光源(8)，样品10上产生和测量点(60)检测反射或散射的光的光检测器(60)从测量点4，其间通过光学系统(3)。从而可以确定样品的表面由评估单元(40)检测到的三维和该表面形貌。 |
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