侦测带电粒子装置及体现该装置於质谱法的设备
 
TW106115320  2017-5-9  发明申请

2018-1-16
 
  一种用于检测带电粒子的装置,包括:衬底; 电荷检测板和集成电路单元,它们电连接在一起并分别设置在衬底的非共面的第一和第二侧上, 以及干扰屏蔽单元,其以允许来自干扰屏蔽单元外部的带电粒子撞击电荷检测板的方式基本包围电荷检测板和集成电路单元。 设置在第二侧上的集成电路单元与设置在第一侧上的电荷检测板不共面,以防止带电粒子对集成电路单元的干扰。
 
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