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产业专利数据

扫描电子显微镜

WOJP19022452 2019-6-6 发明申请

2020-12-10

该扫描电子显微镜具备：自旋检测器(103)，其测量从试样(101)发射的二次电子(108)的二次电子自旋极化；以及分析由自旋检测器测量的二次电子自旋极化数据的分析装置(100)，其中分析装置通过计算相邻像素的二次电子自旋极化数据的差来评估样品中的应变。