飞行时间质谱仪
 
JP2020522489  2018-5-31  发明申请

2021-3-11
 
  产生加速电压,基于用于切换DC高电压的驱动信号,用于发射由离子注入产生的离子的高电压脉冲,接通/断开功率MOSFET。 用于功率MOSFET的驱动信号被接通,并且MOSFET被接通以维持栅极容量以对次级驱动信号再充电。 在驱动信号生成部(6)中, 注入开始定时确定电路输出离子周期(671, 672)的驱动信号, 接着选择从起始边沿检测电路(691, 692)产生的边沿检测信号来调整驱动信号1的信号宽度, 在除该期间之外的期间,半导体元件包括多个电路元件2,该多个电路元件2包括由驱动信号生成电路2生成的主驱动信号选择下一个(6b)。 因此, 可以减少驱动信号1的注入开始定时,以确定由温度变化或下一个离子信号波动引起的抖动, 喷射开始定时和飞行时间测量开始定时,并抑制离子质量精度的偏差时间以提高喷嘴头的质量分辨率。
 
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