| 一种提高二次离子探针质谱仪质谱成像空间分辨率的方法 |
| CN202010924202.0 2020-9-4 发明申请 |
| 2020-12-1 |
| 本发明涉及质谱成像领域，公开了一种提高二次离子探针质谱仪质谱成像空间分辨率的方法，包括利用二次离子质谱仪对样品按顺序扫描，形成2m×2n个像素点的质谱图像，记录每个离子束扫描区域的二次离子谱峰序列；根据每个离子束扫描区域的二次离子谱峰序列建立二次离子信号强度递推等式以及二次离子信号强度初始条件；根据二次离子信号强度递推等式和二次离子信号强度初始条件获得每个离子束扫描区域的左上角1/4区域对应的二次离子谱峰序列。本发明采用离子束交错技术、并与扫描区域谱峰值递推计算相结合，提高了既有仪器的空间分辨率，进而提高该仪器质谱成像的图像分辨率，本发明可用于重新设计的新质谱仪器或已经定型或安装的商业质谱仪器，具有普适性。 |
微信公众号