| 分体式过程质谱仪 |
| CN201910440910.4 2019-5-24 发明申请 |
| 2019-8-16 |
| 本发明涉及质谱仪设备技术领域，公开了一种分体式过程质谱仪，包括侧壁设有进样口的真空腔体、第一馈通法兰、第二馈通法兰、安装于第一馈通法兰上的离子源组件以及安装于第二馈通法兰上的质量分析器组件。第一馈通法兰可拆卸连接于真空腔体靠近进样口的一端，以将离子源组件伸入真空腔体内；第二馈通法兰可拆卸连接于真空腔体的另一端，以将质量分析器组件伸入真空腔体内；离子源组件同轴地可拆卸连接于质量分析器组件。该分体式过程质谱仪装配简单，可以装配灵敏度高、可靠性好、抗污染能力强的复合型离子源，可灵活选配适用于不同检测环境的离子源组件和质量分析器组件，提高了质谱系统的灵敏度和精确度。 |
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