| 一种用于激光剥蚀系统的报警装置 |
| CN202021680349.1 2020-8-13 实用新型 |
| 2021-2-12 |
| 本实用新型公开了一种用于激光剥蚀系统的报警装置，包括控制器、光电感应器、手机通讯模块和报警模块，所述光电感应器设置在电感耦合等离子体质谱仪的进样位置，所述控制器分别与光电感应器、手机通讯模块、报警模块、激光剥蚀仪、电感耦合等离子体质谱仪电性连接。本实用新型能够实现激光剥蚀仪与电感耦合等离子体质谱仪联用时，不同仪器组合的相互通讯和报警功能，当电感耦合等离子体质谱仪熄火时，能够及时停止激光剥蚀系统，减少激光及气体的消耗，节约与保护了剥蚀样品，并通过报警模块和手机通讯模块及时通知操作人员，提高了仪器及操作人员的工作效率。 |
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