| 激光质谱检测仪及激光光学组件 |
| CN202021838956.6 2020-8-28 实用新型 |
| 2021-2-12 |
| 本实用新型涉及一种激光质谱检测仪及激光光学组件，激光光学组件包括激光器、第一反射镜、第一电机、第二反射镜与第二电机。检测工作时，第一电机驱动第一反射镜绕第一方向来回摆动，第二电机驱动第二反射镜绕第二方向来回摆动，能实现将激光器的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品的其中一个检测区域，然后由激光质谱检测仪的移动组件将样品台进行移动，同样将激光器的光斑以扫描的方式依次照射布满待测样品的另一检测区域。如此，激光质谱检测仪的移动组件无需较高频率地驱动样品台，而是通过第一电机与第二电机分别驱动第一反射镜、第二反射镜进行动作即可，从而能满足较高频率的激光器的工作要求，能提高质谱检测分析效率。 |
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