| 显微镜装置，显微镜装置的控制方法以及显微镜装置的控制程序 |
| WOJP19020786 2019-5-24 发明申请 |
| 2020-12-3 |
| 本发明是一种显微镜装置1， 显微镜控制部(61)在作为物镜(26)的光轴方向的试样(TP)的深度方向的第1位置，计算与像差校正部(51)的校正量有关的信息， 基于由检测单元(41)检测的光， 并且计算与像差校正单元(51)在不同于第一位置的第二位置处的校正量有关的信息， 基于与像差校正单元(51)在第一位置处的校正量有关的计算信息和与样品(TP)的折射率有关的信息。 |
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