| 测试气体进气口处之压力测量装置与方法 |
| TW105136961 2016-11-11 发明申请 |
| 2017-6-16 |
| 一种质谱检漏仪之测试气体进气口(18)处之压力之测量装置，其中质谱仪(12)连接高真空泵(14)之进气口(22)，高真空泵之出口(24)连接预真空泵(16)之进气口(26)，以及其中预真空泵(16)之进气口(26)连接测试气体进气口(18)，其特徵在於藉由包含液体节流阀(42)之连接管路(38)，预真空泵(16)之进气口(26)与高真空泵(14)之至少一个中间气体进气口(34)彼此连接 |
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