显微镜装置,显微镜装置的控制方法以及显微镜装置的控制程序
 
WOJP19020787  2019-5-24  发明申请

2020-12-3
 
  显微镜装置(1), 其中, 对于在物镜(26)的光轴方向上样品(TP)的深度方向上的多个位置中的每一个, 显微镜控制部(61)计算包括与像差校正部(51)的校正量有关的信息和与物镜(26)的位置有关的信息的像差校正信息,进行用于调整物镜(26)的焦点位置的焦点调整控制, 然后基于像差校正信息控制像差校正单元(51)和载物台驱动单元(12),并且执行用于在样品(TP)的深度方向上的多个位置处生成图像的叠层图像生成处理。
 
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