| 一种可自动交换芯片载流子的原子力显微镜及控制方法 |
| KR1020190067898 2019-6-10 发明授权 |
| 2020-12-2 |
| 提供了一种原子力显微镜及其控制方法，通过移除安装在探针手上的芯片载体并提供新的芯片载体来自动更换芯片载体。 根据本发明的一个实施例的原子力显微镜包括视觉装置，该视觉装置被配置为扩大附着到芯片载体的探针表面，该芯片载体可拆卸地固定到探针手的一端，该探针手连接到扫描器，该扫描器可在Z方向上移动。 原子力显微镜包括至少一个用于改变来自视觉装置的光路的反射装置。 所述至少一个反射装置被成形和布置成使得来自所述视觉装置的光能够到达安装在所述探针手上的所述芯片载体的表面。 提供了一种原子力显微镜及其控制方法，通过移除安装在探针手上的芯片载体并提供新的芯片载体来自动更换芯片载体。 |
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