质量光谱仪真空接口方法和装置
 
GB1121291  2011-12-12  发明申请

2012-1-25
 
  一种方法的操作的质量光谱仪真空接口具有一撇油器装置160具有一撇渣孔和一个内表面162。该方法包括将一种吸附剂或吸气剂材料170所述内表面上,所述内表面具有一个设置区域,其中从等离子体流入物可以被沉积和所述材料是设置在上至少所述沉积区域的部分,所述处理步骤可以被一个第一使用之前和\/或间歇地进行,特别是以刷新一先前设置的材料。一种用于以盖在或埋物沉积上,以使点到有效防止或其显著地妨碍随后的解放到所述的等离子流,它可以用于以刷新一个较早提供的材料以帮助以保持其吸附\/捕集效果。
 
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