| 强力离子源 |
| US16713713 2019-12-13 发明申请 |
| 2020-4-16 |
| 设备(例如，离子源)，系统(例如，残余气体分析仪)和方法在存在污染气体的情况下提供了质谱仪的延长的寿命和改进的分析稳定性，同时实现了采样气体相对于内部背景气体的显著优先电离。 一个实施例是离子源，其包括气体源，喷嘴，电子源和电极。 气体源通过喷嘴将气体输送到真空电离容积，并且处于比真空电离容积更高的压力下。 通过喷嘴的气体在电离体积的电离区域中自由膨胀。 电子源通过电离区中的膨胀气体发射电子以电离至少一部分膨胀气体。 所述电极为从所述电离区域到质量过滤器的离子流产生电场，并且所述电极与所述喷嘴相距一定距离，并且被定向为限制其暴露于所述气体。 |
微信公众号