| 微小型的质谱仪离子加速器 |
| JP2016017577 2016-2-2 发明申请 |
| 2017-8-10 |
| [问题]超轻重量轻，便于携带，可以容易地和快速地在现场测量，成本低，而且精度等于或高于质量分析器。上，下玻璃基板(2)的竖直面3[解决方案]Si衬底(1)粘附质谱仪中，试样供给单元内，电离，所述电极引出电极·加速度，进行质谱分析，以及离子检测部。样品(气体或液体)供给从试样供给部，雾化进样管18的出口(气体)，一种应用于高电场电离电离。提取电极(10-2)中产生的离子加速电极-1·，加快2，具有磁场质量分析器4-3和4-4进入腔室，根据选择的质荷比，离子电流量检测的离子的离子电荷的光电倍增管检测部。[图]图45 |
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