| 一种显微镜 |
| CN202020998238.9 2020-6-3 实用新型 |
| 2020-12-1 |
| 本实用新型公开了一种显微镜，包括：电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；样品台，用于放置样品；靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置，所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。本实用新型样品通过一次安装，完成扫描电子显微镜对样品的探测和纳米X射线显微镜对样品的探测的双功能探测。 |
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