| 溅射中性粒子质谱仪 |
| US14643682 2015-3-10 发明申请 |
| 2015-9-24 |
| 一种溅射中性粒子质谱仪，包括 : 样品台，其保持作为质谱仪目标的样品， 离子束照射装置，其将离子束照射到由所述样品台保持的所述样品上以在所述样品的相邻区域中产生中性粒子， 光束照射装置，其将光束照射到位于相邻区域中的中性粒子上以获得光激发离子；引出电极，其引出光激发离子；质谱仪，其引出所引出的光激发离子以执行质量分析；以及光学元件，其在光束通过相邻区域之后设置在光路中，并且改变光束的行进方向以使光束再次通过相邻区域。 |
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