| 一种新型分压质谱仪校准装置及方法 |
| US16888262 2020-5-29 发明申请 |
| 2020-12-24 |
| 本发明提供了一种新型的分压质谱仪校准装置， 它主要由微调阀， 活塞压力计， 样品制备室， 多个高纯气瓶， 一种电容膜真空计， 第一级进样室，第二级进样室，取样室，小孔，校准室，分离规和抽气系统，制样室与活塞压力计和电容膜真空计连接； 制样室还与多个高纯气瓶连接，多个高纯气瓶通过微调阀并联； 在制样室与第一级进样室之间并联有多个容积不同的采样室， 第一级进样室和第二级进样室之间并联有多个容积不同的采样室， 第二级进样室依次与小孔，标定室串联； 校准室与待校准的分压质谱仪和分离规连接； 制样室，一级进样室，二级进样室和校准室与抽气系统连接。 根据本发明，可以根据用户要求制备实际所需的混合气体。 另外，能够确保在校准过程中气体不发生变化。 |
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