| 扫描探针显微镜和方法 |
| JP2019567810 2018-1-29 发明申请 |
| 2020-11-26 |
| 1是扫描探针显微镜，配备有控制单元15。 控制部分15，信号处理部分151，图像获取处理部分152, 154，扫描条件改变部分155, 156被包括在扫描处理噪声确定部分中。 在扫描型探针显微镜中，当扫描条件改变部分去除样品表面中包含的噪声时，改变扫描条件。 信号处理部分151从检测部分12的输出信号中获得。 采集单元152，基于输出信号S采集样品表面的图像。 噪声判定部在通过基于S的变化的扫描条件变更部的输出信号的变化而使扫描条件变更时，判定输出信号是否包含噪声。 因此，当噪声被包括在输出信号中时，可以正确地判断噪声。 |
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