| 一种波纹管组件的氦质谱检漏装置 |
| CN202020784418.7 2020-5-13 实用新型 |
| 2020-11-27 |
| 一种波纹管组件的氦质谱检漏装置，它包括有待检测的波纹管组件，O型密封圈、波纹管内支撑块、上下密封法兰，技术要点是：上密封法兰的外圆卡在波纹管组件的上法兰内侧的台阶处，该上密封法兰与波纹管内支撑块的边沿处设有上O型圈，上密封法兰的连接螺钉与波纹管内支撑块相连接，所述支撑块内还带有波纹管内腔通道；波纹管组件上法兰上设置有侧向漏孔，该侧向漏孔与波纹管组件内腔相连通；在支撑块下部套装有下密封法兰，该下密封法兰外边沿通过下O型圈设置于下法兰上的环型凹槽内。本装置的设计完全满足了带侧向漏孔的波纹管组件的密封性检漏要求。波纹管内腔通道与下法兰上的波纹管内腔抽真空通道对应，就可以进行真空氦质谱检漏了。 |
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